簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "hardness".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="鐵鈀薄膜"


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    鐵鈀薄膜之機械性質研究-楊氏係數、硬度與薄膜應力
    • 機械工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 顧庭安 指導教授: 鄭偉鈞 任盛源
    • 摘 要 本研究是利用濺鍍方式將單層鐵鈀薄膜沉積於Corning 0211玻璃基板上。樣品製備完畢,隨後進行PSC應力分析儀分析試片曲率半徑,進而計算薄膜應力值;奈米壓痕試驗儀得到薄膜楊氏係數(Ef…
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